1、前真空阶段：
将木材放入压力浸注罐中，关好罐门后，开启真空泵，向浸注罐抽真空（一般为－0.080～－0.095MPa），保持15分钟至1小时，以抽出木材细胞腔中的空气，使得木材容易被防腐剂浸注，并且减少在卸压时防腐剂反冲出来，保留较多的防腐剂在木材中。这也是此法不同于空细胞法和改良空细胞法之处。
2、加防腐剂阶段：
在不关闭真空泵的情况下，即保持原有真空度的条件下，加入防腐剂溶液。如果在防腐剂加满压力浸注罐之前关掉真空泵，那么浸注罐中残留下来的空气，或由处理溶液产生的蒸气就被压缩到浸注罐的上部，那么当继续加防腐剂溶液时，这些气体就会充填材堆上部木材中在抽真空时被抽空了的空间，这样，就使这部分木材吸收较少数量的防腐剂溶液，造成同一批次处理的木材上下不均匀的结果。
3、加压阶段：
当防腐剂加满压力浸注罐后，关闭真空泵，消除真空后，施加压力（可以用液压，也可以用空气压），达到所需要的压力（一般为0.8～1.5MPa）保持一段时间（一般为2～6小时），直到所需要的防腐剂量已经深深的被压入木材中，或者到木材拒绝吸收防腐剂溶液之点为止。当加压阶段终了，排除压力时，由于被压缩在木材中的少量空气的膨胀作用，在加压阶段被木材吸收的防腐剂溶液有5～15％此时会从木材中反冲出来，回到压力浸注罐中。